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Leybold vacuum MAG W 2000 Operating Instructions Manual

Made by: Leybold vacuum
Type: Operating Instructions
Category: Water Pump
Pages: 10
Size: 1.18 MB

 

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MAG W 2000

Turbo-Molekularpumpe
mit Magnetlagerung

Turbomolecular Pump 
with Magnetic Bearing

Kat.-Nr. / Cat. No. 136 30

Operating Instructions

Gebrauchsanleitung

Vakuum-Lösungen

Applikations-
Unterstützung

Service

LEYBOLD VAKUUM

KA 05.144/1
Ergänzung zu GA 05.135
Supplement to GA 05.135

 


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1.5 Lieferumfang

Zum  Hochvakuum-Anschluß  werden  ein  Splitterschutz
und eine Kupferdichtung mitgeliefert.

2

KA 05.144/1 - 11/99

Die MAG W 2000 ist identisch mit der MAG W 2000 C
außer in den folgenden Punkten:

Sie hat einen Hochvakuum-Anschlussflansch DN 250
CF.

Sie  ist  nicht  für  Sperrgasbetrieb  vorgesehen,  der
Sperrgasanschluss ist blind geflanscht.

Die Kühlwasser-Anschlüsse sind anders.

Deshalb ist die Gebrauchsanleitung GA 05.135 für diese
Pumpe gültig, allerdings mit den folgenden Abweichun-
gen.

Abb. 1  MAG W 2000

Kühlwasser-Anschlüsse
Ein- und Auslass beliebig

Hochvakuum-Anschlussflansch

Vorvakuum-

Anschlussflansch

 


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1.7 Bestelldaten

Bestell-Nr.

MAG W 2000

136 30

Verpackungs-Set

auf Anfrage

2.6 Kühlwasser

Kühlwasser  ist  nur  erforderlich  beim  Ausheizen  der
Pumpe. Bei Enddruck-Betrieb ist kein Kühlwasser erfor-
derlich.

Bei  Zyklusbetrieb  kann  Kühlwasser  erforderlich  sein.
Wenn  die  Pumpe  zu  warm  wird,  wird  sie  mit  der
Störungsmeldung „Lager Temp.“ abgeschaltet.

Ausheizen

Sollen  in  kurzer  Zeit  Drücke  im  Bereich  von  10

-8

mbar

erreicht  werden,  müssen  die  Vakuumkammer  und  die
darin enthaltenen Komponenten ausgeheizt werden. 

Den  Rotor  vor  starker  und  direkter  Wärmestrahlung
schützen. Beim Ausheizen an der Vorvakuumseite, z. B.
einer Adsorptionsfalle,  darauf  achten,  daß  sich  direkt
angeflanschte Bauteile nicht über 80 

°

C erwärmen.

Die Vorvakuumpumpe muß zum Abpumpen der aus der
Adsorptionsfalle anfallenden Dämpfe in Betrieb sein.

Die max. Ausheiztemperatur am CF-Flansch ist 100 

°

C.

3

KA 05.144/1 - 11/99

32 Schrauben: M8 x 45
Anziehmoment: 30 Nm

Abb. 2   Schnitt durch eine CF-Flanschverbindung

Kupferdichtung

Alle 32 Schrauben zur Befestigung des
Hochvakuum-Flansches benutzen. 
Die Schrauben werden von Leybold mit-
geliefert.

1.6 Technische Daten

Saugvermögen für N

2

gemessen 

mit Splitterschutz (PNEUROP)

1650 l·s

-1

Kompression für N

2

3,8·10

8

Kompression für H

2

9,6·10

3

Enddruck nach DIN 28 400

2·10

-10

mbar

Max. Vorvakuumdruck mit Stickstoff

1 mbar

Empfohlener Vorvakuumdruck

< 10

-2

mbar

Drehzahl

28 800 min

-1

Hochlaufzeit

< 8 min

Bremszeit mit/ohne Belüftung

1 / < 7,5 min

Kühlung

Wasser

Kühlwasser-Anschluß, Schlauchtülle für 
Schlauch mit Innendurchmesser

8 bis 10 mm

Kühlwasser-Temperatur

15 — 30 

°

C

Gewicht

ca. 72 kg

Hochvakuumflansch

DN 250 CF

Vorvakuumflansch

DN 40 KF

Empfohlene Vorvakuumpumpe

DRYVAC 50

Zulässige Umgebungstemperatur

5 — 40 

°

C

Lagertemperatur

-10 — +60 

°

C

Max. rel. Luftfeuchtigkeit

95% (nicht kondensierend)

Schutzart (EN 60529)

IP 20

 


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4

KA 05.144/1 - 11/99

Abb. 3   Maßzeichnung; alle Maß ein mm

 


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5

KA 05.144/1 - 11/99

Köln, den 19.11. 1999

—————————————————————
Stolle, Entwickler
Turbo-Molekularpumpen

Köln, den 19.11. 1999

—————————————————————
Dr. Götz, Geschäftsbereichsleiter
Turbo-Molekularpumpen

Hiermit erklären wir, die Leybold Vakuum GmbH, daß die
Inbetriebnahme  der  nachfolgend  bezeichneten  unvoll-
ständigen  Maschine  solange  untersagt  ist,  bis  festge-
stellt wurde, daß die Maschine, in die diese unvollstän-
dige  Maschine  eingebaut  werden  soll,  den  Bestimmun-
gen der EG-Maschinenrichtlinie entspricht.

Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspan-
nungsrichtlinie 73/23/EWG.

Bei  Verwendung  des  entsprechenden  Leybold-Zube-
hörs,  z.B.  Verbindungsleitungen,  und Antrieb  mit  den
geeigneten  Leybold-Frequenzwandlern  werden  die
Schutzziele der EMV-Richtlinie eingehalten.

Bezeichnung:

Turbo-Molekularpumpe

Typen:

MAG W 2000

Katalog-Nummer:

136 30

EG-Herstellererklärung

im Sinne der Maschinenrichtlinie 89/392/EWG, Anhang IIb

Angewandte harmonisierte Normen:

• EN 292 Teil 1 und Teil 2

Nov. 1991

• EN 1012 Teil 2

1996

• EN 60 204

1993

Angewandte nationale Normen und technische 
Spezifikationen:

• DIN 31 001

April 1983

• DIN ISO 1940

Dez. 1993

 


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6

KA 05.144/1 - 11/99

Fig. 1  MAG W 2000

The MAG W 2000 is identical with the MAG W 2000 C
except from the following:

The high-vacuum connection flange is a DN 250 CF
flange.

It is not equipped for purge gas operation, the purge
gas connector is blank-flanged.

The cooling water connectors are different.

Therefore the Operating Instructions GA 05.135 are valid
for this pump except from the following modifications.

Cooling water connectors
Inlet and outlet may be mixed up

High-vacuum connection flange

Forevacuum

connection flange

1.5 Standard specification

For  the  intake  flange,  a  copper  gasket  and  a  splinter
guard are enclosed.

 


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7

KA 05.144/1 - 11/99

1.6 Technical data

Pumping speed for N

2

measured 

with splinter guard (PNEUROP)

1650 l·s

-1

Compression for N

2

3.8·10

8

Compression for H

2

9.6·10

3

Ultimate pressure as to DIN 28 400

2·10

-10

mbar

Max. forevacuum pressure with Nitrogen

1.0 mbar

Recommended forevacuum pressure

< 10

-2

mbar

Rotor Speed

28,800 min

-1

Run-up time

< 8 min

Braking time with/without venting

1 / < 7.5 min

Cooling 

water

Cooling connection,
Hose nipples for hose ID

8 to 10 mm

Cooling water temperature

15 to 30 

°

C

59 to 86 

°

F

Weight

approx. 72 kg

High-vacuum connection flange

DN 250 CF

Forevacuum connection flange

DN 40 KF

Recommended backing pump

DRYVAC 50

Admissible ambient temperature

5 to 40 

°

C

40 to 104 

°

F

Storage temperature

-10 to +60 

°

C

14 to 140 

°

F

Max. relative air humidity

95% (non-condensing)

Degree of protection (EN 60529)

IP 20

1.7 Ordering data

Order No.

MAG W 2000

136 30

Seal Kit 

on request

2.6 Cooling water

Cooling water is only reqired when baking out the pump.
No cooling water is reqired when operating the pump at
ultimate pressure. 

At cyclic operation cooling water may be reqired. If the
pump gets too hot it will be switched off with the failure
message „Bearing Temp“.

Bakeout

If  pressures  in  the  range  of  10

-8

mbar  are  to  be  devel-

oped within a short period of time, the vacuum chamber
and  the  components  installed  therein  will  have  to  be
baked out.

Protect the rotor against intensive, direct heat radiation.
When baking out at the forevacuum side – at a sorption
trap, for example – ensure that the components attached
direct are not heated to more than 80

°

C (176 

°

F).

The  forevacuum  pump  must  be  in  operation  so  as  to
eliminate the vapors liberated at the sorption trap.

The  max.  bakeout  temperature  at  the  CF  flange  is 
100 

°

C (212 

°

F).

32 bolts: M8 x 45
Bolt torque: 30 Nm

Fig. 2  Section through a CF flange connection

Copper gasket

Use all 32 bolts provided by Leybold
for fastening the high-vacuum flange.

 


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KA 05.144/1 - 11/99

8

Fig. 3  Dimensional drawing, dimensions in mm

 


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9

KA 05.144/1 - 11/99

Cologne, November 19, 1999

—————————————————————
Stolle, Design Manager 
Turbomolecular pumps

We - LEYBOLD Vacuum GmbH - herewith declare that
operation  of  the  incomplete  machine  defined  below,  is
not  permissible  until  it  has  been  determined  that  the
machine  into  which  this  incomplete  machine  is  to  be
installed, meets the regulations of the EEC Directive on
Machinery.

At  the  same  time  we  herewith  certify  conformity  with
EEC Directive on Low-Voltages 73/23/EWG.

When  using  the  appropriate  Leybold  accessories,  e.g.
connector  lines  and  when  powering  the  pump  with  the
specified  Leybold  frequency  converters,  the  protection
level prescribed in the EMC Guidelines will be attained.

Designation:

Turbomolecular pump

Model:

MAG W 2000

Catalogue number: 136 30

EEC Manufacturer’s Declaration

in the sense of EEC Directive on Machinery 89/392/EWG, Annex IIb

Applied harmonized standards:

• EN 292 Part 1 & 2

Nov. 1991

• EN 1012 Part 2

1996

• EN 60 204

1993

Applied national standards and technical 
specifications:

• DIN 31 001

April 1983

• DIN ISO 1940

Dec. 1993

Cologne, November 19, 1999

—————————————————————
Dr. Götz, Business Area Manager 
Turbomolecular pumps

 


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MAG.DRIVE 2000

including NRTL & 

SEMI S2 certifications

LEYBOLD VAKUUM GmbH

Bonner Strasse 498 (Bayenthal)

D-50968 Cologne
Tel.: + 49 (221) 347-0

Fax: + 49 (221) 347-1250

http://www.leyboldvac.de

e-mail:documentation@leyboldvac.de

LVSVS_02062_1999 

  

 PG 

  

 11.99

Printed 

in 

Ger

many 

on 

chlorine-fr

ee 

bleached 

paper

Technical 

alterations 

reser

ved

MAG W 1600 C, CT

(Operation diagram & pum-

ping speed curve missing)

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

GA 05.130/1.02

(December 1997)

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2  (Trouble-

shooting incomplete)/

(Fehlersuche 

unvollständig)

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2  (Trouble-

shooting incomplete)

GA 05.130/2.02

(February 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE L

MAG.DRIVE L2

GA 05.130/3.02

(May 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

GA 05.135/1.02

(August 1998)

MAG W 2010 C

3 Beta site units

MAG.DRIVE 2000

GA 05.136/1.02

(July 1998)

MAG W 2010 C

MAG.DRIVE 2000

GA 05.136/2.02

(October 1998)

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

GA 05.135/2.02

(October 1998)

Operating Instructions for MAG 2000 series / Gebrauchsanleitungen für die MAG 2000 Serie

Operating 

Instructions

in English

Valid for pumps /

Gültig für Pumpen

Valid for Converters /

Gültig für 

Frequenzwandler

MAG 1600 C, CT

MAG W 1600 C, CT

MAG 2000 C, CT

MAG W 2000 C, CT

MAG.DRIVE 2000

including NRTL & 

SEMI S2 certifications /

mit NRTL und 

SEMI S2 Bescheinigung

GA 05.135/3.02

(June 1999)

MAG W 2010 CHT

GA 05.139/1.02

(June 1999)

GA 05.130/3.01

(August 1999)

GA 05.135/3.01

(in Arbeit)

MAG W 2020 C

KA 05.143/1.02

(November 1999)

Supplement to 

GA 05.136

MAG W 2000

KA 05.144/1

(November 1999)

Ergänzung zu GA 05.135

Supplement to GA 05.135

Gebrauchs-

anleitung 

in deutsch